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來源資料
光連
78 2008.11[民97.11]
頁45-50
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匯出書目
題 名
非接觸式多孔性氣浮平臺技術介紹
作 者
李有璋
;
余欽章
;
蔡瑞益
;
書刊名
光連
卷 期
78 2008.11[民97.11]
頁 次
頁45-50
分類號
448.533
關鍵詞
非接觸式多孔性氣浮平臺
;
玻璃基板
;
TFT-LCD面板
;
語 文
中文(Chinese)
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