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題 名 | 以離散事件模擬進行晶圓代工回收水系統流程之設計與分析=The Use of Discrete-event Simulation for the Design and Analysis of the Reclaim-water System from an IC Foundry Fab |
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作 者 | 王炯柱; 楊大和; | 書刊名 | 先進工程學刊 |
卷 期 | 4:3 2009.07[民98.07] |
頁 次 | 頁295-304 |
分類號 | 445.46 |
關鍵詞 | 回收水; 晶圓代工; 離散事件模擬; 精實系統思考法; Reclaim-water system; Discrete-event simulation; Lean Thinking; |
語 文 | 中文(Chinese) |