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來源資料
機械月刊
35:10=411 2009.10[民98.10]
頁113-121
金屬工藝
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特殊加工法
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題名
高深寬比光阻SU-8微加工技術
作者
楊龍杰
;
書刊名
機械月刊
卷期
35:10=411 2009.10[民98.10]
頁次
頁113-121
分類號
472.17
關鍵詞
精微加工
;
高深寬比
;
SU-8光阻
;
語文
中文(Chinese)
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