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來源資料
科儀新知
24:5=133 2003.04[民92.04]
頁28-36
電機工程
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電燈廠
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SU-8光阻在高解析X光微加工技術的新應用
應用於反射式微光柵之高解析X光微加工技術研發
高深寬比光阻SU-8微加工技術
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題名
SU-8光阻在高解析X光微加工技術的新應用=High Resolution X-ray Micromachining Using SU-8 Photoresist
作者
許博淵
;
洪瑞堂
;
黃泰源
;
劉昆沛
;
周長彬
;
書刊名
科儀新知
卷期
24:5=133 2003.04[民92.04]
頁次
頁28-36
專輯
微機電系統專題
分類號
448.57
關鍵詞
SU-8光阻
;
X光微加工技術
;
語文
中文(Chinese)
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