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| 題 名 | 基於粒子群最佳化之品質預測模型線上學習機制=A Particle Swarm Optimization Based Online Learning Mechanism for Quality Prediction Models: A Case Study on Thin-Film Thickness Prediction of Semiconductor Wafers |
|---|---|
| 作 者 | 呂紹銘; 劉益宏; 周子勤; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 316 2009.07[民98.07] |
| 頁 次 | 頁50-59 |
| 專 輯 | 智慧系統工程技術專輯 |
| 分類號 | 448.94 |
| 關鍵詞 | 製程診斷; 半導體晶圓; 粒子群演算法; 支持向量迴歸; 支持向量資料描述; Process diagnosis; Particle swarm optimization; Support vector regression; Support vector data description; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |