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題名 | 基於粒子群最佳化之品質預測模型線上學習機制=A Particle Swarm Optimization Based Online Learning Mechanism for Quality Prediction Models: A Case Study on Thin-Film Thickness Prediction of Semiconductor Wafers |
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作者 | 呂紹銘; 劉益宏; 周子勤; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 316 2009.07[民98.07] |
頁次 | 頁50-59 |
專輯 | 智慧系統工程技術專輯 |
分類號 | 448.94 |
關鍵詞 | 製程診斷; 半導體晶圓; 粒子群演算法; 支持向量迴歸; 支持向量資料描述; Process diagnosis; Particle swarm optimization; Support vector regression; Support vector data description; |
語文 | 中文(Chinese) |