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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
21 2009.05[民98.05]
頁35-43
電機工程
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電燈廠
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匯出書目
題名
微機電封裝之應用--探針卡、CMOS-MEMS=
作者
李郭昱
;
許后竣
;
林銘哲
;
黃榮堂
;
期刊
微系統暨奈米科技協會會刊
出版日期
20090500
卷期
21 2009.05[民98.05]
頁次
頁35-43
分類號
448.57
語文
chi
關鍵詞
微機電封裝
;
垂直探針卡
;
CMOS-MEMS探針卡
;
3D封裝
;
微機電系統
;
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