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來源資料
量測資訊
128 2009.07[民98.07]
頁59-63
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題名
高介電薄膜特性研究--沈積二氧化鉿薄膜的退火分析使用XRR及GIXRD
作者姓名(中文)
張詠晴
;
陳怡菁
;
傅尉恩
;
書刊名
量測資訊
卷期
128 2009.07[民98.07]
頁次
頁59-63
分類號
448.552
關鍵詞
高介電薄膜
;
二氧化鉿薄膜
;
X射線反射儀
;
低掠角X射線繞射儀
;
XRR
;
GIXRD
;
語文
中文(Chinese)
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