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題名 | 奈米微影技術簡介 |
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作者姓名(中文) | 岑尚仁; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 15:3=164 2009.03[民98.03] |
頁次 | 頁128-138 |
專輯 | 半導體製程設備專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 奈米壓印技術; 光照式奈米壓印; 電子束微影技術; 熱壓式奈米壓印; 接觸轉印式奈米壓印; Nanoimprint; UV curing nanoimprint; Electron beam lithography; EBL; Hot embossing nanoimprint; Microcontact/nanocontact printing; |
語文 | 中文(Chinese) |