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來源資料
科儀新知
25:1=135 2003.08[民92.08]
頁56-67
電機工程
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電燈之特殊應用
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題名
電子束微影技術及其在奈米科技上之應用=Introduction to Eletron Beam Lithography for Nanotechnology Applications
作者姓名(中文)
殷宏林
;
鄭紹章
;
林郁欣
;
胡一君
;
周曉宇
;
書刊名
科儀新知
卷期
25:1=135 2003.08[民92.08]
頁次
頁56-67
分類號
448.59
關鍵詞
電子束微影技術
;
奈米科技
;
語文
中文(Chinese)
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