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題名 | 以SEM及AFM進行多孔矽材料在拋光蝕刻及電解蝕刻之表面微觀研究=The Analysis of Polishing and Anodization Etching on the Porous Silicon Thin Films by Scanning Electron Microscope and Atomic Force Microscope |
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作者 | 林嘉洤; 陳奕鴻; Lin, J. C.; Chen, Y. H.; |
期刊 | 華岡工程學報 |
出版日期 | 20090100 |
卷期 | 23 2009.01[民98.01] |
頁次 | 頁41-47 |
分類號 | 440.34 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 陽極電化學蝕刻; 多孔矽; 電子顯微鏡; 原子力顯微鏡; SEM; AFM; Anodization electrochemistry etching; Porous silicon; |