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題名 | 化學濾網技術開發=Technology and Development of Chemical Filter |
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作 者 | 黃蒨芸; 康育豪; 陳幸婷; 洪敏郎; 彭及青; | 書刊名 | 冷凍空調&能源科技 |
卷期 | 53 2008.10[民97.10] |
頁次 | 頁45-51 |
分類號 | 478.16 |
關鍵詞 | 化學濾網; 氣相過濾; 氣態分子污染物; Chemical filter; Gas-phase filtration; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 化學濾網(Chemical Filter)不同於濾除塵粒的空氣濾網(Air Filter),是屬於氣相過濾(Gas-Phase Filtration)技術產品之一,特別是指針對極低濃度之氣態分子污染物所設計開發之產品,應用於高精密製程如半導體及光電製程環境中,以及一般建築室內空氣品質等潔淨技術上。本文將探討影響化學濾網性能之設計參數以及篩選化學濾網的性能指標,並介紹工研院在化學濾網開發所進行相關研究內容。 |
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