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來源資料
冷凍與空調
44 2007.04[民96.04]
頁64-70
機械工程
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題名
無塵室內部發生之氣態分子污染(AMC)異常處理措施=Troubleshooting of Airborne Molecular Contamination from Inside the Clean Room
作 者
曾麗玲
;
陳清良
;
鍾美瑛
;
書刊名
冷凍與空調
卷期
44 2007.04[民96.04]
頁次
頁64-70
分類號
446.64
關鍵詞
氣態分子污染物
;
國際半導體技術藍圖
;
化學濾網
;
異常處理
;
AMC
;
ITRS
;
Chemical filter
;
Troubleshooting
;
語文
中文(Chinese)
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