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題 名 | 催化式探針微影術簡介 |
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作 者 | 郝志先; | 書刊名 | 新新季刊 |
卷 期 | 36:3 2008.07[民97.07] |
頁 次 | 頁153-162 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 催化; 水解; 沾筆式奈米級微影術; 自組式單層膜; 磨擦力; 顯微術; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 掃描式探針顯微術應用於奈米檢測技術上已有顯著的成效,然而在功能性的元件製程上,仍有相當的開拓空間。為兼顧奈米製程技術中‘上而下’的解析度及‘下而上’的靈敏度等要求。本文將介紹以化學反應中最基本的催化反應並結合枝狀化合物的化學放大器,提出另一種思考的途徑,作為解決目前瓶頸。且藉由枝狀化合物的多樣官能基,可增加無限多功能可能性的空間且更能整合為一。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。