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題 名 | 雷射超精密微奈米結構加工技術介紹=Introduction of Laser Machining Technology for Micro/Nanostructure Fabrication |
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作 者 | 張天立; 羅紹維; 姚中翰; 周大鑫; 蘇志杰; 蔡宏營; 林宏彝; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 306 2008.09[民97.09] |
頁 次 | 頁2-12 |
專 輯 | 微/奈米製造技術專輯 |
分類號 | 472.17 |
關鍵詞 | 雷射加工; 超快雷射; 微/奈米結構; Laser machining; Ultrafast laser; Micro/nanostructures; |
語 文 | 中文(Chinese) |