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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
18 2007.11[民96.11]
頁33-38
電機工程
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電燈廠
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題 名
以氣膠沈積法製作PZT厚膜三維微結構
作 者
張培仁
;
王宣又
;
李其源
;
彭成鑑
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷 期
18 2007.11[民96.11]
頁 次
頁33-38
專 輯
專佳論文專輯
分類號
448.57
關鍵詞
氣膠沈積法
;
PZT厚膜三維微結構
;
鋯鈦酸鉛
;
微機電系統
;
語 文
中文(Chinese)
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