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來源資料
電子月刊
14:6=155 2008.06[民97.06]
頁173-186
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題 名
矽基片抗諧振反射光波導(ARROW)結構之平面光子晶體波導設計與研製
作 者
陳建華
;
楊玉麟
;
呂明峰
;
黃遠東
;
謝嘉民
;
書刊名
電子月刊
卷 期
14:6=155 2008.06[民97.06]
頁 次
頁173-186
專 輯
光電專輯
分類號
448.552
關鍵詞
光子晶體
;
抗諧振反射光波導
;
光纖
;
電子束微影
;
反應式離子蝕刻
;
Photonic crystal
;
PC
;
ARROW
;
Fiber
;
Electron-beam lithography
;
Reactive ion etching
;
RIE
;
語 文
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