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題 名 | 基於支持向量迴歸及支持向量資料描述之半導體CVD製程虛擬量測研究=A Study on CVD Virtual Metrology System Based on Support Vector Regression and Support Vector Data Description |
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作 者 | 劉益宏; 林昌誠; 周子勤; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 303 2008.06[民97.06] |
頁 次 | 頁50-57 |
專 輯 | 智慧系統工程技術專輯 |
分類號 | 448.94 |
關鍵詞 | 半導體製造; 虛擬量測; 機器學習; 支持向量迴歸; 支持向量資料描述; Semiconductor manufacturing; Virtual metrology; VM; Machine learning; Support vector regression; SVR; Support vector data description; SVDD; |
語 文 | 中文(Chinese) |