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題 名 | 十二吋晶圓廠無塵室煙控性能式設計之研究=A Study of Performance-based Design of Smoke Management in a 12-inches Wafer Cleanroom |
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作 者 | 邱晨瑋; | 書刊名 | 警專學報 |
卷 期 | 4:3 2008.04[民97.04] |
頁 次 | 頁1-33 |
分類號 | 441.6 |
關鍵詞 | 煙控系統; 性能式設計; 無塵室; Smoke management; Performance-based design; Cleanroom; |
語 文 | 中文(Chinese) |