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題名 | 淺談原子層沉積法 |
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作者姓名(中文) | 李政達; 李耀仁; 潘同明; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 14:3=152 2008.03[民97.03] |
頁次 | 頁158-167 |
專輯 | 半導體製程設備專輯 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 原子層沉積法; 原子層化學氣相沉積法; 原子層磊晶; 原子層成長; ALCVD; ALD; Atomic layer epitaxy; ALE; Atomic layer growth; |
語文 | 中文(Chinese) |