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題名 | 田口品質工程應用於LCD顯示器微影製程之品質改善=An Application of Taguchi Methods on the Optimal Process Analysis for Photolithography |
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作者 | 陳正芳; 顏婉雯; 黃英傑; Chen, Jeng-fung; Yen, Wan-wen; Huang, Jay; |
期刊 | 修平學報 |
出版日期 | 20060900 |
卷期 | 13 民95.09 |
頁次 | 頁1-20 |
分類號 | 448.5 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微影製程技術; 田口品質工程; Photolithography; Taguchi methods; Optimal process; |