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題名 | 面型微細加工電容式超音波換能器之製作=The Fabrication of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer |
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作者 | 王逸萍; 王長志; 陳明華; Wang, Yih-Ping; Wang, Charng-Jyh; Chen, Ming-Hua; |
期刊 | 中國海事商業專科學校學報 |
出版日期 | 20060300 |
卷期 | 1:1 民95.03 |
頁次 | 頁1-16 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微機電系統; 面型微細加工; 電容式超音波換能器; Microelectro mechanical system; Surface micromachined; Capacitive micromachined ultrasonic transducer; cMUT; |