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| 題 名 | 面型微細加工電容式超音波換能器之製作=The Fabrication of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer |
|---|---|
| 作 者 | 王逸萍; 王長志; 陳明華; | 書刊名 | 中國海事商業專科學校學報 |
| 卷 期 | 1:1 民95.03 |
| 頁 次 | 頁1-16 |
| 分類號 | 448.57 |
| 關鍵詞 | 微機電系統; 面型微細加工; 電容式超音波換能器; Microelectro mechanical system; Surface micromachined; Capacitive micromachined ultrasonic transducer; cMUT; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |