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題 名 | Deep Ultraviolet-Assisted Photo-Electro-Chemical Wet Etching of N-Type GaN=以深紫外線輔助對N型氮化鎵做光電化學濕式蝕刻 |
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作 者 | 黃俊達; 楊國輝; 許乃偉; 郭侑鑫; 張正弘; 李容原; 詹前茂; | 書刊名 | 科學與工程技術期刊 |
卷 期 | 3:3 2007.09[民96.09] |
頁 次 | 頁61-65 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 光電化學蝕刻; 氮化鎵; 氚氣燈; Photocurrent; Photo-electro-chemical etching; GaN; Deuterium lamp; |
語 文 | 英文(English) |