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來源資料
化工技術
15:7=172 2007.07[民96.07]
頁179-189
機械業;電機資訊業
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半導體業
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題 名
超臨界流體在半導體及微電子產業中之應用
作 者
羅大倫
;
凌永健
;
書刊名
化工技術
卷 期
15:7=172 2007.07[民96.07]
頁 次
頁179-189
專 輯
超臨界流體技術專輯
分類號
484.51
關鍵詞
超臨界流體
;
超臨界二氧化碳
;
半導體
;
微電子
;
清洗
;
光阻
;
微影
;
薄膜沉積
;
語 文
中文(Chinese)
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