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題 名 | 微米級光柵基礎製程研究=The Basic Processing Research of Micro-grating |
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作 者 | 黃榮彰; 謝宏榮; | 書刊名 | 中華技術學院學報 |
卷 期 | 21 2000.09[民89.09] |
頁 次 | 頁54-64 |
分類號 | 336.9 |
關鍵詞 | 疊文; 干涉; 光柵; 同調; Moire; Interference; Grating; Coherence; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 疊紋一詞所代表的並非單一種方法而是一種組合體,是指經由兩個或多 個幾何圖形疊加干涉所產生的條紋。疊紋的干涉原理與光柵干涉相似,因此可從 疊紋原理初步了解光柵干涉的現象。在本研究中將分析光柵製程基本原理、應用 及其限制,另外有關氦氖雷射同調長度的測量與光柵記錄程序亦將在本文中作一 探討。 |
英文摘要 | The interference principle related to moire and optical grating is similar. Moireis a word used generally to denote the interference fringes created by thesuperposition of two(or more) geometric patterns; and the so-called moire method isnot just one method, rather it is a group of methods which all utilize moire as thegaging element. The basic principle of the optical grating technique will be outlinedwith special attention given to its advantages and limitations. Methods for measuringthe coherent length of He-Ne laser and basic grating recording processes will bediscussed. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。