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題名 | A Hybrid Computational Technique for White-light Interferometric Surface Profiling=一種解析白光垂直掃描干涉訊號之混合式演算法 |
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作者 | 童啟弘; 許華珍; 高清芬; 張中柱; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷期 | 25:5 民93.10 |
頁次 | 頁405-408 |
分類號 | 446.8401 |
關鍵詞 | 白光垂直掃描干涉術; 頻譜分析法; 同調峰值偵測法; 混合式演算法; Frequency domain analysis; Coherence peak sensing; White-light interferometry; |
語文 | 英文(English) |