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題 名 | A Compact AFM System for Rapid and Large Area Surface Topography Measurement=高速且具大面積量測能力的原子力顯微鏡系統 |
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作 者 | Ju, Bing-feng; Gao, Wei; Aoki, Jun; Asai, Takemi; Kiyono, Satoshi; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 27:5 民95.10 |
頁 次 | 頁525-530 |
分類號 | 471.713 |
關鍵詞 | 原子力顯微鏡; Atomic force microscope; Linear stage; Air-spindle; Surface topography; Sinusoidal grid surface; |
語 文 | 英文(English) |