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題 名 | Design Analysis, Measurement and Nanometer Accuracy Position Control of a Low Friction Pneumatic Table Embedded with Aerostatic Bearings=嵌入氣靜壓軸承低摩擦氣壓平臺設計分析、量測與奈米定位控制 |
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作 者 | 施明璋; 白凱仁; 蘇雅玲; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 27:4 民95.08 |
頁 次 | 頁389-401 |
分類號 | 446.875 |
關鍵詞 | 氣靜壓軸承; 低摩擦氣壓缸; 氣壓驅動平臺; 奈米定位控制; Nanometer positioning; Pneumatic table; Aerostatic bearing; |
語 文 | 英文(English) |