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機械工程
256 民95.03
頁59-63
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題 名
從微到納尺度縮小進程中的機電系統技術趨勢探討
作 者
李昕欣
;
書刊名
機械工程
卷 期
256 民95.03
頁 次
頁59-63
分類號
448.57
關鍵詞
微米尺度
;
微機電器件
;
MEMS
;
語 文
中文(Chinese)
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