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題 名 | 微細加工技術之微型壓力感測器=Micro-fabrication of Micro Pressure Sensor |
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作 者 | 蔡聲鴻; 陳育堂; 林玉興; | 書刊名 | 新埔學報 |
卷 期 | 19 民91.09 |
頁 次 | 頁61-71 |
分類號 | 471.3 |
關鍵詞 | 微機電系統; 電容式壓力感測器; 壓阻式感測器; Micro electro-mechanical systems; Micro capacitive pressure-sensor; Piezo-resistive pressure-sensor; |
語 文 | 中文(Chinese) |