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題名 | 平面顯示器之雷射電極圖案成型技術=Laser Electrode Patterning Technology for FPD |
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作者 | 鄭中緯; 蔡武融; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 270 民94.09 |
頁次 | 頁6-14 |
專輯 | 光電與半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | ITO薄膜; 光罩投影; 直接刻寫; ITO thin film; Mask projection; Direct writing; |
語文 | 中文(Chinese) |