頁籤選單縮合
題 名 | 乾膜光阻生產製程中塗佈作業之ANN-SPC-EPC製程管制系統建立=Construction of an ANN-SPC-EPC Process Control System for Coating Operations in Dry Film Photoresist Production |
---|---|
作 者 | 林宏達; 周奕圻; | 書刊名 | 朝陽學報 |
卷 期 | 11 民95.09 |
頁 次 | 頁25-58 |
分類號 | 465.61 |
關鍵詞 | 乾膜光阻製程; 塗佈作業; 電腦視覺系統; 薄膜量測; 共軛梯度倒傳遞類神經網路CG BP; 統計與工程製程管制SPC-EPC; Dry film photoresist process; Coating operation; Computer vision system; Film measurement; Artificial neural network model; Statistical and engineering process control; SPC-EPC; |
語 文 | 中文(Chinese) |