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題名 | A Novel Method for Measuring the Thickness of Quartz Using a Plate Wave Sensor=使用板波感測器用來量測石英晶片厚度之新穎方法 |
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作者 | 李其源; 陳炳輝; 鄭英周; 張培仁; 鮑世勇; 陳永裕; 陳文中; 戴慶良; Lee, Chi-yuan; Chen, Ping-hei; Cheng, Ying-chou; Chang, Pei-zen; Pao, Shih-yung; Chen, Yung-yu; Chen, Wen-jong; Dai, Ching-liang; |
期刊 | 中國機械工程學刊 |
出版日期 | 20040800 |
卷期 | 25:4 2004.08[民93.08] |
頁次 | 頁321-328 |
分類號 | 448.5 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 板波感測器; 石英晶片; 厚度; Plate wave sensor; SASW; |