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來源資料
量測資訊
99 2004.09[民93.09]
頁16-21
電學;電子學
>
電子光學;離子光學 Electron ; Ion Optics
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匯出書目
題 名
一維線距量測技術及先期能力試驗
作 者
呂錦華
;
陳朝榮
;
書刊名
量測資訊
卷 期
99 2004.09[民93.09]
頁 次
頁16-21
專 輯
奈米尺寸計量標準
分類號
337.97
關鍵詞
一維線距量測技術
;
掃描探針顯微鏡
;
計量型原子力顯微鏡
;
雷射繞射儀
;
語 文
中文(Chinese)
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