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題 名 | 半導體及光電產業現行揮發性有機廢氣控制設備之選用評估 |
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作 者 | 林育旨; 白曛綾; 張豐堂; | 書刊名 | 工業污染防治 |
卷 期 | 23:1=89 2004.01[民93.01] |
頁 次 | 頁23-31 |
分類號 | 445.63 |
關鍵詞 | 揮發性有機廢氣; 半導體; VOCs廢氣控制設備; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本研究針對目前半導體及光電產業所使用之揮發性有機廢氣(volatile organic compounds, VOCs)控制設備(包括沸石吸附濃縮焚化系統、固定式活性碳吸附塔、流體化活性碳吸附冷凝系統、生物濾床、濕式洗高級氧化系統等),進行各設備設置及運轉成本分析、實廠運作現況與效能比較,以及對象評估;此外亦逐一探討各設備之要操作問題,並提出適切解決對策,冀望提供半導體及光電產業選擇及操作VOCs廢氣控制設備時之評估參考。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。