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題名 | 電子束微影技術及其在奈米科技上之應用=Introduction to Eletron Beam Lithography for Nanotechnology Applications |
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作者 | 殷宏林; 鄭紹章; 林郁欣; 胡一君; 周曉宇; Yin, Hung-ling; Cheng, Shao-chang; Lin, Yu-hsin; Hu, Yi-chiuen; Chou, Hsiao-yu; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 200308 |
卷期 | 25:1=135 2003.08[民92.08] |
頁次 | 頁56-67 |
分類號 | 448.59 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 電子束微影技術; 奈米科技; |