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題名 | Sol-gel Synthesis and Characterization of Y戓Zr[fec5] O□ Nanopowders for CMP Application=以溶膠-凝膠法製備奈米級Y戓Zr[fec5] O□ 粉末於化學機械研磨上應用 |
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作者 | 蘇旺申; 涂肇嘉; 蔡明蒔; 黃銘賢; Su, W. S.; Tu, G. C.; Tsai, M. S.; Huang, M. H.; |
期刊 | 材料科學與工程 |
出版日期 | 200312 |
卷期 | 35:4 2003.12[民92.12] |
頁次 | 頁250-255 |
分類號 | 440.34 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 奈米粉末; 釔摻雜氧化鋯; 溶膠-凝膠法; 化學機械研磨; Nanopowder; Yttrium-doped zirconia; Sol-gel; Chemical mechanical polishing; |