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題名 | Study on Wafer Rework Strategies and Dispatching Rules at the Photolithography Stage=晶圓製造廠微影黃光區整合再加工策略與派工法則之研究 |
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作者 | 沙永傑; 謝玲芬; 林世星; Sha, Yung-jye; Hsieh, Ling-feng; Lin, Shih-hsing; |
期刊 | 工業工程學刊 |
出版日期 | 20030900 |
卷期 | 20:5 2003.09[民92.09] |
頁次 | 頁457-464 |
分類號 | 494.542 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 晶圓製造; 再加工策略; 派工法則; 模擬; Wafer fabrication; Rework strategy; Dispatching rule; Simulation; |