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題名 | Molecular Dynamics Simulation of Sputter-deposited Thin Film: A Review=以分子動力學模擬濺渡製程之薄膜成長的研究回顧 |
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作者 | 黃吉川; 張自恭; 朱訓鵬; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷期 | 24:4 2003.08[民92.08] |
頁次 | 頁309-336 |
分類號 | 440.1 |
關鍵詞 | 分子動力學; Molecular dynamic simulation; Sputter-deposited; Thin film; |
語文 | 英文(English) |