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來源資料
臺灣奈米會刊
26 2011.09[民100.09]
頁21-26
工程學總論
>
材料科學
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題 名
奈米壓痕技術探討奈米薄膜之機械特性=Using the Nanoindentor Technology to Study the Mechanical Property of Nano Thin Film
作 者
陳道星
;
涂勝龍
;
蘇彥勳
;
申永輝
;
方得華
;
書刊名
臺灣奈米會刊
卷 期
26 2011.09[民100.09]
頁 次
頁21-26
專 輯
奈米機械
分類號
440.2
關鍵詞
超高真空離子束濺射
;
奈米壓痕技術
;
奈米薄膜
;
薄膜材料
;
奈米鈦薄膜
;
機械性質
;
電阻率
;
光學特性
;
UVIBS
;
語 文
中文(Chinese)
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