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來源資料
零組件雜誌
137 2003.03[民92.03]
頁88-90+92
電機工程
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電燈廠
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題 名
銅與低介電常數在晶圓後段製程的發展與應用
作 者
李俊哲
;
書刊名
零組件雜誌
卷 期
137 2003.03[民92.03]
頁 次
頁88-90+92
分類號
448.57
關鍵詞
晶圓
;
積體電路
;
半導體製程
;
語 文
中文(Chinese)
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