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來源資料
奈米通訊
9:2 2002.05[民91.05]
頁9-12
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題名
利用選擇性電化學接觸置換法製作銅晶種層及導線=
作者
蔡明蒔
;
李音頻
;
期刊
奈米通訊
出版日期
200205
卷期
9:2 2002.05[民91.05]
頁次
頁9-12
分類號
448.552
語文
chi
關鍵詞
選擇性電化學接觸置換法
;
銅晶種層
;
銅導線
;
元件閘極線
;
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