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題名 | 使用貝氏網路於離子植入機之錯誤診斷系統 |
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作者 | 張結雄; 李文猶; 蔡嘉鴻; 鄭木火; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 234 2002.09[民91.09] |
頁次 | 頁160-168 |
專輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 離子植入機; 貝氏理論; 貝氏網路方法; 錯誤診斷; Ion-implanter; Bayes' theorem; Bayesian network; Fault diagnosis; |
語文 | 中文(Chinese) |