頁籤選單縮合
| 題 名 | 使用貝氏網路於離子植入機之錯誤診斷系統 |
|---|---|
| 作 者 | 張結雄; 李文猶; 蔡嘉鴻; 鄭木火; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 234 2002.09[民91.09] |
| 頁 次 | 頁160-168 |
| 專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 離子植入機; 貝氏理論; 貝氏網路方法; 錯誤診斷; Ion-implanter; Bayes' theorem; Bayesian network; Fault diagnosis; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |