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題名 | 多變量分析在半導體製程故障偵測之應用 |
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作者 | 葉培青; 張耀仁; 李文猶; | 書刊名 | 機械工業 |
卷期 | 234 2002.09[民91.09] |
頁次 | 頁154-159 |
專輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 多變量分析; 幅狀基底函數類神經網路; 主成份分析; Multivariate analysis; Radial basis function neural networks; Principal component analysis; |
語文 | 中文(Chinese) |