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工業工程學刊
19:4 2002.07[民91.07]
頁1-10
企業管理
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設備管理
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題 名
晶圓廠連接式自動化物料搬運系統之搬運車管理架構解析=Vehicle Anagement of AMHS in 300MM Wafer Fab
作 者
林則孟
;
吳俊寬
;
楊景如
;
書刊名
工業工程學刊
卷 期
19:4 2002.07[民91.07]
頁 次
頁1-10
分類號
494.58
關鍵詞
晶圓廠
;
自動化物料搬運系統
;
Wafer fabrication
;
AMHS
;
Interbay
;
Intrabay
;
語 文
中文(Chinese)
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