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來源資料
工業材料
175 2001.07[民90.07]
頁134-138
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題 名
以微影及帶磨法(Belt Sanding)製作微小孔之技術
作 者
陳曼玲
;
謝添壽
;
劉佩青
;
書刊名
工業材料
卷 期
175 2001.07[民90.07]
頁 次
頁134-138
專 輯
電子構裝技術特刊
分類號
448.533
關鍵詞
微小孔
;
增層法
;
帶磨法
;
光阻
;
Micro via
;
Build up
;
Belt sanding
;
Photoresist
;
語 文
中文(Chinese)
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