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題名 | In-Situ Monitoring of Submicron Grating-Mask Development=即時監控次微米光柵面罩的顯影 |
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作者姓名(中文) | 王倫; 莊志祥; | 書刊名 | 國立臺灣大學工程學刊 |
卷期 | 67 1996.06[民85.06] |
頁次 | 頁35-44 |
分類號 | 336.9 |
關鍵詞 | 光阻光柵面罩; 顯影; 曝光後軟烤; 即時監控; Photoresist-grating mask; Development; Post-exposure bake; In situ monitoring; |
語文 | 英文(English) |