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來源資料
機械工業
221 2001.08[民90.08]
頁87-101
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題名
樹脂結合鑽石砂輪精密輪磨加工矽晶圓表面性狀研究
作者
趙崇禮
;
張永明
;
馬廣仁
;
徐喜清
;
林宏裕
;
許瓊姿
;
書刊名
機械工業
卷期
221 2001.08[民90.08]
頁次
頁87-101
專輯
奈米工程及微機電系統技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
樹脂結合
;
電解削銳
;
輪磨
;
Resin-bonded
;
ELID
;
Grinding
;
語文
中文(Chinese)
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