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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
8:2 2001.05[民90.05]
頁9-17
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題 名
淺談超淺型接面的製程=Ultrashallow Junction Formation in Deca-nanometer CMOS Technology
作 者
張文亮
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷 期
8:2 2001.05[民90.05]
頁 次
頁9-17
分類號
448.533
關鍵詞
超淺型接面
;
半導體
;
電子元件
;
語 文
中文(Chinese)
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