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來源資料
微系統科技協會季刊
2 2000.10[民89.10]
頁69-76
電機工程
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題名
以熱致動器為主之微系統應用
作者姓名(中文)
邱俊誠
;
林育成
;
書刊名
微系統科技協會季刊
卷期
2 2000.10[民89.10]
頁次
頁69-76
分類號
448.57
關鍵詞
熱致動器
;
微機電系統
;
微致動器
;
語文
中文(Chinese)
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